事業内容

Business

装置設計・装置組立

信頼性を求められる半導体製造装置を中心とした設備産業、お客様の生産ラインで活躍する生産設備、制御機器装置、医療分野で使用される分析機器など、技術革新の激しい当分野で設計・製造・検査・スタートアップ業務までの一貫体制を整え、事業を行っています。

営業品目

◇半導体/液晶製造・検査装置のユニット組立から装置組立
◇半導体/液晶の搬送ロボットの組立
◇各種生産、検査装置の組立

装置設計

主要設計製作装置(実績)

・半導体のEFEMに代表される、ウエハー/ガラス(液晶)のハンドリングユニット装置
・お客様のコア技術を使用した、各種の半導体/液晶用検査装置
・クリーンルーム内に設置される電装/電源盤BOXや制御ラック
・真空チャンバー内動作用の簡易小型シャッターユニット
・純水のみを使用したレジスト剥離装置
・マスク用洗浄装置の付帯装置
・SMIF POD オープナー装置
・MEMS材料試験機(曲げ:たわみ:クリープ:etc)

装置組立

◇半導体/LCD製造・検査装置のユニット製造から装置製造
◇半導体/LCD搬送ロボットの製造
・各種生産 メカユニットASSY
・制御盤ASSY
・装置製造 調整、検査
・現地立ち上げサポート
・OA機器の製造

クリーンルーム・保有設備

flow_cleanroom

大型クリーンルーム東京工場(クラス10,000 623㎡、クレーン下高さ6.5m)

大型クリーンルームユーティリティ設備(4か所)

設備名 能力
強制排気 50㎥/min 400Pa
N2(窒素ガス) 5㎥/h  (83L/min)
純 水 使用水量Max1000L/h
エアー(DRY) 0.83MPa、1,225L/min
チラー 0.49MPa 5〜30℃制御

■クレーン4.8t+4.8t

床上クレーンによる重量物組立が可能。
荷重4.8t×2機のクレーンにより効率の良いクレーン作業から最大荷重9.6tの部品搭載が可能。
当社重量物組立実績として総重量56tの装置をクリーンルーム内でクレーン資格所有者により組立を行いました。

中型クリーンルーム東京工場

(クラス1,000、温度調整±1℃、200㎡、天井高さ3.5m)

技能資格

資格名称 人員
製造技術者 80名
クレーン運転士  1名
床上操作式クレーン 28名
玉掛け作業 30名
電気工事士(第二種)  4名
高所作業車運転資格  8名
危険物取扱者 乙種  3名
フォークリフト運転者 17名
鉛フリー(上級オペレータ)  2名
有機溶剤作業主任者 11名
機械検査作業1級  1名
機械検査作業2級  2名
機械検査作業3級  1名
品質管理検定2級  1名
日本半導体製造装置協会(SEAJ)
安全教育トレーナー
 3名
酸素欠乏危険作業特別教育
インストラクター
 1名
SEAJ安全講習 16名
酸素欠乏危険作業 15名
フルハーネス特別教育  9名
産業用ロボット特別教育  1名

品質保証

厳密な品質管理と品質保証システムを構築し当社の品質保証部員がお客様に代わってすべての完成品の出荷監査を実施、お客様の安心と信頼性の向上に取り組んでおります。

組立装置実績例


ウェハ蒸気レジスト剥離装置


ウェハ外観検査装置


液晶ガラス基板検査装置


液晶ディスプレイ加熱装置