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東京工場

設計から装置組立・検査まで ──
モノづくりのベストパートナー

信頼性を求められる半導体製造装置を中心とした設備産業、お客様の生産ラインで活躍する生産設備、制御機器装置、医療分野で使用される分析機器など、技術革新の激しい当分野で設計・製造・検査までの一貫体制を整え、事業を行っています。


営業品目

装置組立

◇半導体/LCD製造・検査装置のユニット製造から装置製造
◇半導体/LCD搬送ロボットの製造
・各種生産 メカユニットASSY
・制御盤ASSY
・装置製造 調整、検査
・現地立ち上げサポート
・OA機器の製造

産業用設備設計

主要技術

・モーター等、電気アクチュエータの制御技術を使用したUNIT設計
・空圧制御技術を利用したUNIT設計
・真空技術を使用したチャンバー等の設計
・コンタミ/バーティクル対応技術
・DRY環境/WET環境の対応技術
・semi/UL CSA/CE等の各種規格準拠設計(お客様の設計標準も伺います)
・部品製作性を考慮したコストダウン設計及び提案

主要設計製作装置(実績)

・半導体のEFEMに代表される、ウエハー/ガラス(液晶)のハンドリングUNIT装置
・お客様のコア技術(UNIT:理論)を使用した、各種の半導体/液晶用検査装置
・クリーンルーム内に設置される電装/電源盤BOXや制御ラック
・真空チャンバー内動作用の簡易小型シャッターUNIT
・純水のみを使用したレジスト剥離装置
・マスク用洗浄装置の付帯装置
・SMIF POD オープナー装置
・MEMS材料試験機(曲げ:たわみ:クリープ:etc)

開発ツール
ツール名 備考
設計ツール(メカ系設計)
3D CAD ■ OneSpace Designer Modeling
2D CAD ■ OneSpace Designer Drafting(旧Me10)
■ AutoCAD Mechanical 2005
■ AutoCAD LT 2000i
■ CAE-2D
設計ツール(制御系設計)
シーケンサ ■ 三菱 GX Developer
■ 三菱 モーションコントローラ用 SFC作成ソフト(SV13,SV22)
■ オムロン CX-ONE
■ キーエンス KV-STUDIO
開発言語 ■ Borland C++Builder
■ Microsoft VisualBasic.net
電気系 ■ AutoCAD LT 2000i,2004